• 자성유체씰의 원리

• 자성유체씰의 밀봉의 원리 자성 유체는 크기가 약 10㎚ 정도의 자성을 갖는 미세입자를 특수 표면 처리를 한 후, 액체에 혼합한 콜로이드(Colloid) 상태의 유체이다. 액체에 혼합된 미세 입자는 액체 내에서 침전되지 않고 균일하게 분포하여 분자와 유사한 운동을 한다. 이러한 특성을 밀봉기술에 적용한 것이 자성유체씰(magnetic fluid seal)이다. 자속(magnetic flux)이 형성된 자성유체씰(magnetic fluid seal)의 틈에 자성유체가 위치하며 자속에 의해 액체 Ring을 형성하여 밀봉을 구현하게 된다. 자성유체씰이란? 진공 Chamber내에서 회전 운동을 필요로 하는 경우, 아래와 같은 형태의 Magnetic Fluid Seal을 사용한다. (회전 운동의 경우는 Magnetic Fluid Seal이 직선 운동의 경우 Metal Bellows가 진공상태를 유지 시켜 준다.)

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